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XRF膜厚测试仪

产品名称:XRF膜厚测试仪

产品价格:0

产品型号:THICK800A

产品产地:中国大陆

访问次数:35

简介内容:XRF膜厚测试仪是用X射线激发各种物质(如金、银、镍)的特征X射线,然后测量释放出的特征X射线的能量来表征样品,测量释放出的特征X射线的强度,并与标准片(或对照样品)进行比较,得到各种物质的厚度。

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    XRF膜厚测试仪

    XRF膜厚测试仪的原理
     
    (1) X射线荧光:能量X射线荧光光谱侧厚度法(质量膜厚度)
     
    测试原理:
    XRF膜厚测试仪是用X射线激发各种物质(如金、银、镍)的特征X射线,然后测量释放出的特征X射线的能量来表征样品,测量释放出的特征X射线的强度,并与标准片(或对照样品)进行比较,得到各种物质的厚度。,强度与厚度的对应关系在软件的背景下形成条曲线。然而,随着各种物质的强度增加,厚度值也增加,但它不是的线性关系。通过标准样本、软件和算法(算法中采用FP法和经验系数法),得到接近实际对应关系的曲线。


    XRF膜厚测试仪应用优势
    1、XRF膜厚测试仪镀层分析快速、无损,对样品无需任何处理。般测试个点只需要数10秒~3分钟,分析精度高。
        XRF膜厚测试仪是光物理测量,其对测试样品不会产生任何的物理、化学变化,因此,其属于无损测量。同时对测试的样品不需要任何处理,分析速度更加快捷。
    2、可测试超薄镀层,如:在测试镀金产品时,低可测试0.01微米的镀层厚度,这是其他测厚设备无法达到的。
        X荧光通过射线的方式来检测镀层的厚度,因此,其对样品的表面物质测试为灵敏,因此,其非常适合测试超薄镀层,也是目前超薄镀层常用的测量方法。
    3、可测试多镀层,分析精度远远高于其他测量方法。
           X射线具有定的穿透能力,因此,在测试镀层时,它可以穿透多层镀层,通过每层镀层产生的特征X射线计算其厚度,并可分析其镀层的组成。
    4、可分析合金镀层厚度和成分比,这是其他测厚设备不能做到的。   
    5、对于样品可进行连续多点测量,适合分析镀层的厚度分布情况,并可以对样品的复杂面进行测量。
        由于X荧光的无损分析方法,同时仪器高度的自动化控制技术,保证测试中可以进行连续多点测量,不但提高测试效率,同时可以分析测试样的厚度分布情况。
    6、对分析的多镀层每层之间的材料,要求有明显的区别,即,每层样品元素有明显的差别。


    仪器介绍
    天瑞仪器XRF膜厚测试仪Think800A是专门针对镀层厚度测量、镀层元素种类及含量的快速无损分析的需求,特设计的款产品;
    采用上照式结构,以满足不规则表面样品的测试要求;
    采用美新型的Si-pin探测器,高分辨率探头使分析结果更加精准;
    采用高度定位激光,可自动定位测试高度,以满足不同规格样品的镀层测试。同时定位激光定位光斑,以确保测试点与光斑对齐;
    高精度移动平台可定位测试点,重复定位精度小于0.005mm;
    内置φ0.1mm的小孔准直器,可以满足微小测试点的镀层测试;
    多重防辐射泄露设计,具有良好的射线屏蔽作用; 
    内置高精度移动平台,通过测试软件可视化操作:鼠标可控制移动平台,鼠标点击的位置就是被测点;
    采用网口传输数据,数据传输稳定且快。

    性能指标: 
    XRF膜厚测试仪元素分析范围从硫(S)到铀(U);
    次可同时分析多24个元素,5层镀层;
    分析检出限可达2 PPm,薄可测试0.005um;
    分析含量般为2 PPm到99.9%;   
    镀层厚度般为在50um以内(每种材料有所不同);
    任意多个可选择的分析和识别模型;
    相互独立的基体效应校正模型;
    多变量非线性回收程序;
    多次测量重复性可达0.1%;
    XRF膜厚测试仪长期工作稳定性可达0.1%;
    温度适应范围为15℃至30℃;
    电源:交流220V±5V;(建议配置交流净化稳压电源)。
    仪器配置                                                                            
    Si-pin电制冷半导体探测器;                        
    X光管;                            
    高低压电源;
    开放式样品腔;
    双激光定位装置;
    高度传感器;
    保护传感器;
    铅玻璃屏蔽罩;
    信号检测电子电路;
    精密二维移动样品平台,探测器和X光管上下可动,实现三维移动。

    原创作者:江苏天瑞仪器股份有限公司

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